光刻工艺中强碱去膜什么意思?膜指的是什么?我是新手,不太懂,大家帮忙解释一下,谢谢啦!

xiaobaobei 1年前 已收到2个回答 举报

blackbec 幼苗

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光刻胶
光刻胶在曝光后其成分会发生改变,而这些成分在低浓度的强碱中的溶解速度是不同的.控制好光刻胶在强碱溶液中的时间,就能改变光刻胶的分布情况,为下步蚀刻做准备.

1年前

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10000106 幼苗

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汗...是光刻胶吧...还是氧化层?

1年前

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